萊寶TTR916N真空計參數(shù)說明

萊寶TTR916N真空計

TTR 911 N 和 TTR 916 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89660V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230700V02、230701V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實時壓力測量結(jié)果。更多詳情，請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 8965402、89656V029) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請參閱第 6.4 章。
TTR 911 N 和 TTR 916 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺變送器在出廠前已逐臺進行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補償。
變送器擁有多達三個機械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器具備單獨的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統(tǒng))) 傳感器元件，元件測量基于熱傳導(dǎo)性。MEMS Pirani 傳感器包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
? 一般真空壓力測量
? 前級管道和粗抽壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 質(zhì)譜儀控制
? 啟動超高真空電離 (UHV) 規(guī)
? 系統(tǒng)過程控制
? 檢測異常壓力，利用繼電器設(shè)定點采取妥當?shù)陌踩胧?br />? 控制系統(tǒng)壓力
P/N: 89656V02 和 230701V02 含有 Parylene-HT® 涂層傳感器。
Parylene-HT® 是保形涂層，氣體阻隔性佳，不釋氣。與標準 MEMS Pirani 相比，Parylene-HT® 涂層傳感器對各種腐蝕性氣體的耐受性更強。涂層覆蓋整個傳感器芯片，包括接線。因此，暴露于處理氣體的材料只有 Parylene-HT® 涂層

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