描述：愛德華EH4200羅茨泵維修應(yīng)用

半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光

愛德華EH4200羅茨泵維修

EH機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光

功能和優(yōu)勢
適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高

抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
1、安靜的無振動運行。
2、牢靠且防腐蝕。
3、*的軸封技術(shù)，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
4、防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
5、經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到低。

6、軸封的設(shè)計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

7、動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是*技術(shù)設(shè)備

由二臺或二臺以上的真空泵及其他附件組合一個體系完結(jié)需求的到達真空度的意圖就叫真空泵體系 
真空泵體系規(guī)劃的要害問題是挑選真空抽氣機組的主泵主泵類型的斷定
1、依據(jù)真空室所需求樹立的極限壓力斷定主泵的類型。通常主泵極限壓力的選取要比真空室的極限壓力低半個到一個數(shù)量級。

2、依據(jù)真空室進行技術(shù)出產(chǎn)時所需求的作業(yè)壓力選主泵。應(yīng)正確地挑選主泵的作業(yè)點，在其作業(yè)壓力規(guī)模內(nèi) 愛德華eh4200羅茨泵維修，應(yīng)能掃除真空室內(nèi)技術(shù)過程中發(fā)生的悉數(shù)氣體量。因此，真空室內(nèi)的作業(yè)壓力必定要在主泵的---抽速壓力規(guī)模以內(nèi)。

3、依據(jù)真空室的容積巨細和需求的抽氣時刻來選主泵。真空室體積巨細對體系抽到極限真空的時刻有影響。當(dāng)抽氣時刻需求必守時，若真空室體積越大，則主泵抽速也越大。

4、正確地組合真空泵 愛德華eh2600羅茨泵維修，因為真空泵有挑選性地抽氣，因此有時選用一種泵不能滿意抽氣需求，需求幾種泵組合起來，互相彌補才干滿意抽氣需求。

5、若真空體系嚴厲需求無油時，則應(yīng)當(dāng)選各種無油泵作主泵。假如需求不嚴厲，則可挑選有油泵，然后加上一些防油污染辦法 愛德華eh1200羅茨泵維修，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能到達清洗真空需求。

愛德華EH4200羅茨泵維修